2020年チャールズ・スターク・ドレイパー賞

受賞理由

マイクロエレクトロニクスデバイスの極小化を可能にした微細加工用およびナノ加工用の化学増幅材料の開発に対して

受賞者

ジャン・フレシェ
Grant Willson
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